MEMS是怎样的技术，哪些已经民用了？
2012-01-19 20:07:18   来源：   点击：

4 个答案

• 答案 1：

  楼主问的比较笼统，那我也笼统地回答下：技术概念：微机电系统Micro-Electro-MechanicalSystems （MEMS）是利用集成电路制造技术和微加工技术把微结构、微传感器、控制处理电路甚至接口、通信和电源等制造在一块或多块芯片上的微型集成系统。MEMS可以革命性地影响几乎所有类别的产品。它用微加工技术将各种产品整合到基于硅的微电子芯片上，做到systems-on-a-chip。工艺简介：MEMS工艺与传统的IC工艺有许多相似之处，如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等，但是有些复杂的微结构难以用IC工艺实现，必须采用微加工技术制造。微加工技术包括硅的体微加工技术、表面微加工技术和特殊微加工技术。体加工技术是指沿着硅衬底的厚度方向对硅衬底进行刻蚀的工艺，包括湿法刻蚀和干法刻蚀，是实现三维结构的重要方法。表面微加工是采用薄膜沉积、光刻以及刻蚀工艺，通过在牺牲层薄膜上沉积结构层薄膜，然后去除牺牲层释放结构层实现可动结构。除了上述两种微加工技术以外，MEMS制造还广泛地使用多种特殊加工方法，其中常见的方法包括键合、LIGA、电镀、软光刻、微模铸、微立体光刻与微电火花加工等。技术优势：总体来说，用MEMS工艺制造传感器、执行器或者微结构，优点是:微型化、集成化、智能化、成本低、效能高、可大批量生产等。具体到各个器件：例如，MEMS陀螺仪没有旋转部件、不需要轴承，并可以用微机械加工技术大批量生产。每个器件用到的工艺细节实在太多，就不赘述了。主流应用：我对传感器比较熟，现在MEMS传感器的主要应用在：汽车电子领域、计算机领域、消费电子领域、网络通信类、医疗电子领域等。可以说有着广泛的应用。你所提的民用化，主要就是前4项吧。现在应用比较热的是消费电子领域，手机，平板电脑等，在将来会有较大的市场（加速度传感器，陀螺仪，电子罗盘，麦克风等）。传统的汽车领域也会保持较高的份额。

• 答案 2：

  MEMS的工艺比较非主流，不是很标准化。可以说每一个MEMS都有自己的风格。

  我讲两个自己弄过的MEMS产品，权作例子了。

  一个是微型麦克风：

  在硅的表面堆一层多晶硅（P0），再堆一层二氧化硅，再堆一层多晶硅（P1），蚀刻出一定的形状，再蚀刻掉中间那层二氧化硅，这样P0和P1之间就空了，一旦P1震动，两层多晶硅之间的电容就变了，这就成了声音-电容的转换器。

  （如果我是设计师，我就在硅上先把模数转换器的CMOS做好，盖一个ILD，签好contact再做上面那个流程，那么电容转化为数字信号也一把完成了……）

  一个是微型流量控制器：

  用硅蚀刻出一个管道，管道中间弄成一个塞子状，塞子的通过一条杠杆状的硅连接在另一条硅上（R）。外界输入信号是加在R上电压，不同的电压会造成不同的热功率，不同的热功率会造成R不同的形变，R不同的形变会牵扯杠杆拉动塞子，那么管道的横截面积就会随之改变，就起到了流量控制的作用。

  怎么样，各有千秋吧。

• 答案 3：

  MEMS其实就是一种传感器，之所以采用这些东西，是因为MEMS较其他的传感器有廉价，准确度高等优点。就像为什么要用集成电路代替一般电路一样。现行的MEMS一般都是采用半导体工艺。

• 答案 4：

  首先，我不是学器件的，我是学设计的，对于MEMS没有太深入的了解，如果你对这个方向很感兴趣的话，可以去Wikipedia搜一下MEMS，最好搜英文wiki，中文wiki十分的垃圾，都不如百度好用，然后你可以去找一些相关的书来看一下，最好看外国的经典教材，网上搜一下就找到了，我就不帮你搜了其次，我可以说一点我的理解，首先MEMS是微机电系统的缩写，也就是说它同时涉及了机械和电子两个学科，实现的是机械部件的功能，使用的是集成电路的技术，利用的是电信号进行控制和传导，某种程度上讲确实是1楼所说的传感器，但是1楼的说法实在是太草了，我自己最近几年的工科学习中，十分讨厌的就是各种高度概括的总结，什么问题都说不明白，却也好像什么都说明白了。我对于MEMS的理解，一是其控制精度应该会十分出色，因为它都是纳米级的制造工艺，二是基于十分成熟的VLSI的制造工艺生产成本会很低，三是应用十分方便吧，因为它本身就是一个机械和电子结合的产品已经民用的应该还蛮多吧，最熟悉的就是iphone上的陀螺仪嘛，应该还有别的应用，这个应该主要还是应用在电子产品上的