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如何去除芯片表面的钝化层?
2012-01-19 17:34:45   来源:   点击:

    如何去除芯片表面的钝化层?求高手指教: 在网上查了下,钝化层可能的组成是siO2,si3N4,psg,bpsg和polyimide,前面的还好,如何去除poliimide呢?做反向的应该有这方面经验的!

    1 个答案

    • 答案 1:

      EKC可以去掉polymide,我做过Fab,polymide出问题了用EKC rework

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