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现在半导体行业因清洗导致产品损坏,每年的损失大概多少?
2012-01-19 17:55:15   来源:   点击:

    现在半导体行业因清洗导致产品损坏,每年的损失大概多少?能说一下损坏率吗?

    2 个答案

    • 答案 1:

      行业……这似乎不太好拿到数据的。各个公司各个Fab都不一样。我做过一点wet process 一般来说,量产阶段的wet process不是报废大户(跟furnace和implanter比起来的话)。 wet的报废主要是交叉污染和backend的metal corrosion吧。都不太容易发生。 报废率应该是万分之一级别的。
    • 答案 2:

      报废大户photo笑了,我猜问者是要写CIT了

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