离子注入机实现全谱系产品国产化 国产芯片产业迎来好消息！ 2021-03-17 13:59:56 作者： 离子注入机实 据媒体消息，3月17日，中国电子科技集团有限公司对外公布，该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。 离子注入机实现全谱系产品国产化 以上就是【离子注入机实现全谱系产品国产化】相关内容，更多资讯请关注
